自动型Proforma 300iSA
Summary:
独有的 MTI 电容传感器,具有出色的准确性和可重复性
完整的 1000 µm 厚度测量范围,无需重新校准
测量厚度、TTV、弓形、翘曲和位置以及整体平整度
Windows® 用户界面
ASTM 标准测量
SEMI S2-0200 健康和安全合规设计
SEMI S8-0999 符合人体工程学的设计
测量所有材料,包括 Si、GaAs、Ge、InP、SiC
Summary:
独有的 MTI 电容传感器,具有出色的准确性和可重复性
完整的 1000 µm 厚度测量范围,无需重新校准
测量厚度、TTV、弓形、翘曲和位置以及整体平整度
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ASTM 标准测量
SEMI S2-0200 健康和安全合规设计
SEMI S8-0999 符合人体工程学的设计
测量所有材料,包括 Si、GaAs、Ge、InP、SiC