自动型Proforma 300iSA

自动型Proforma 300iSA

自动型Proforma 300iSA

Summary:

独有的 MTI 电容传感器,具有出色的准确性和可重复性

完整的 1000 µm 厚度测量范围,无需重新校准

测量厚度、TTV、弓形、翘曲和位置以及整体平整度

Windows® 用户界面

ASTM 标准测量

SEMI S2-0200 健康和安全合规设计

SEMI S8-0999 符合人体工程学的设计

测量所有材料,包括 Si、GaAs、Ge、InP、SiC